Технология полупроводникового кремния
Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман, В.Н.Яркин, И.В.Салли.
Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов> влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве.Для инженерно-технических работников и специалистов полупроводниковой промышленности. Может быть полезна студентам вузов, обучающимся по соответствующим специальностям.
Tahun:
1992
Penerbit:
Металлургия
Bahasa:
russian
Halaman:
203
ISBN 10:
5229007400
ISBN 13:
9785229007405
Fail:
DJVU, 5.93 MB
IPFS:
,
russian, 1992
Litres
Hendak menambah kedai buku? Hubungi kami di support@z-lib.do
Tukar fail
Lebih banyak hasil carian
Faedah lain 
